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在深冷、超深冷处理过程中，马氏在-190度低温下，由于体积收缩Fe的晶格常数趋于缩小，而低温下固溶度变小使马氏体的过饱和度有所增加，亦使空位的平蘅浓度降低。深冷、超深冷处理促进碳原子更弥散偏聚，形成超微细碳化物核心使马氏体分解，马氏界面增多而碎化。 在深冷、超深冷处理的温度回升阶段碳原子的扩散能力大大增加，而随温度回升空位平衡浓度也升高，从而更加快碳原子的扩散运动。自回火产生的微细碳化物促进碳化物的聚合长大，深冷、超深冷处理形成的超微细碳化物在回温过程和室温保持中逐步聚合长大。 故深冷、超深冷处理后马氏碳化物微粒的数量增多且尺寸较大。低温阀门深冷处理的作用：低温处理可转变残奥，低温阀门零件的硬度和耐磨性，工件的尺寸。深冷处理可析出超细碳化物，工件的耐磨性；可细化晶粒，工件的冲击韧性。